【新品上市】曝光设备的原理

曝光设备原理

本节介绍曝光设备的测量原理。曝光设备由光源、偏转透镜、光掩模、聚光透镜、载物台、传送硅片的机器人等组成。

镜头和光掩模的设计精度极高，平台的运行精度也很高。在操作过程中，载物台精确固定要曝光的物体。

在操作中，每次曝光时载物台都会移动，在曝光的物体上呈现多个图案。

从光源发出的短波长强光被偏光透镜引导并照射到光掩模上，光掩模是构建电路图案的原型。

光线穿过光掩模后，被聚光透镜聚焦，在曝光目标上描绘出非常小的电路图案。

一旦整个曝光目标被曝光，则由机器人等传送它。

根据产品的不同，也有将曝光对象浸没在液体中的产品，也有设计可以进行更高精度曝光的产品。